三次元测量仪采用先进的全铝技术。横梁和Z轴由硬质阳极化航空铝合金制成,具有更好的温度一致性。运动部件的重量和高速运行时测量机的惯性减小,以确保高速和高精度。三次元测量仪的三轴导轨均采用高精度自清洁空气轴承,运动更加稳定,导轨不易磨损。三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um,同时一端固定,另一端自由伸缩,减少光栅尺的变形,保证温度变化时的线性膨胀。
三次元测量仪采用先进的全铝技术。横梁和Z轴由硬质阳极化航空铝合金制成,具有更好的温度一致性。运动部件的重量和高速运行时测量机的惯性减小,以确保高速和高精度。三次元测量仪的三轴导轨均采用高精度自清洁空气轴承,运动更加稳定,导轨不易磨损。三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um,同时一端固定,另一端自由伸缩,减少光栅尺的变形,保证温度变化时的线性膨胀。
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