工具金相显微镜实验室用的材料检测光学显微镜都配有显微成像装置 采用光学放大是检验半导体材料和器件的主要方法之一。 它包括科研金相显微镜、低倍立体多功能显微镜以及低倍和高倍 三目非立体偏光显微镜. 此外，多功能工具金相显微镜中各种附属装置如干涉仪、相衬和干涉衬度也是 很有用的.鉴于大多数半导体对可见光不透明， 偏振光研究(在矿物研究中广泛使用)通常只有采用红外转换器 代替常规的目镜时才能进行. 为了储存各种光学检验的结果，常规地使用低倍和高倍 拍摄技术.大多数实验室用的工具金相显微镜都配有显微成像装置. 若需要更高的放大倍数，尤其是要同时增加景深时，可使用扫描电子显微镜. 由于它们的价格、复杂性和规模，妨碍了它们象光学显微镜那样广泛地应用. 但是，它们被引进半导体工业后，对微电路相互连接系统的了解 已经产生了非常大的影响。